三自由度柔性拓扑解耦并联微动平台

摘要

一种三自由度柔性拓扑解耦并联微动平台，它包括静平台(1)和动平台(2)，其特征在于：所述动平台(2)通过第一支链(3)、第二支链(4)和第三支链(5)与静平台(1)连接，第一支链(3)、第二支链(4)、第三支链(5)与动平台(2)以及静平台(1)之间都通过柔性铰链连接，第一支链(3)受第一驱动器(6)驱动，第二支链(4)受第二驱动器(7)驱动，第三支链(5)受第三驱动器(8)驱动；本发明第一驱动器和第二驱动器确定动平台的原点位置，第三驱动器决定动平台绕原点位置运动的角度，该机构具有部分解耦特性，降低了机构运动学和动力学的求解难度，易于实时控制，通过整体模块式加工结构简单具有免装配的特点，提高了微动平台微位移的定位和重复精度。

主权项

一种三自由度柔性拓扑解耦并联微动平台，它包括静平台(1)和动平台(2)，其特征在于：所述动平台(2)通过第一支链(3)、第二支链(4)和第三支链(5)与静平台(1)连接，第一支链(3)、第二支链(4)、第三支链(5)与动平台(2)以及静平台(1)之间都通过柔性铰链连接，第一支链(3)受第一驱动器(6)驱动，第二支链(4)受第二驱动器(7)驱动，第三支链(5)受第三驱动器(8)驱动；所述第一驱动器(6)、第二驱动器(7)和第三驱动器(8)分别装在静平台(1)上。