| 发明名称 | 一种用于显示重掺N型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于显示重掺N型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液，由摩尔浓度为0.2～0.25mol/L的三氧化铬溶液和质量浓度为40％～49％的氢氟酸按体积比为2∶3～3∶2混合制成。该腐蚀液适用范围广，可以用于掺杂浓度为1.6×10191.1×1020cm-3的<100>、<111>等不同晶向重掺N型直拉硅单晶中空洞型缺陷的择优腐蚀，尤其适用于重掺杂、低阻直拉硅单晶空洞型缺陷的显示；具有腐蚀速度快，腐蚀效果好，图像形貌规则、清晰易辨，操作简单方便等特点。 | ||
| 申请公布号 | CN102507293B | 申请公布日期 | 2013.11.20 |
| 申请号 | CN201110342033.0 | 申请日期 | 2011.11.02 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 马向阳;徐涛;杨德仁 |
| 分类号 | G01N1/32(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人 | 胡红娟 |
| 主权项 | 一种腐蚀液在显示重掺N型直拉硅单晶空洞型缺陷中的应用，其特征在于，所述腐蚀液由摩尔浓度为0.2～0.25mol/L的CrO3溶液和质量浓度为40％～49％的氢氟酸按体积比2∶3～3∶2混合制成。 | ||
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||