发明名称 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺
摘要 本发明公开了一种多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺,对酸制绒后的多晶硅片,用含氧化剂的酸溶液或碱溶液进行清洗。本发明提供的清洗工艺,优化硅片表面结构,去除硅片表面残留成分,既能清洗掉硅片制绒后表面残留的制绒液,也能去除多孔硅,从而大大减少硅片表面的复合中心,提升短路电流和开压,达到提高太阳能电池光电转换效率的效果。采用这种清洗工艺后,可以去除酸制绒后产生的多孔硅,减少绒面中的尖锐结构,硅片外观色泽均匀,不同晶粒间的差异小,不会导致多晶化程度加强。此外,本发明的工艺简单易操作,与现行工艺兼容,重复性好。
申请公布号 CN103394484A 申请公布日期 2013.11.20
申请号 CN201310332052.4 申请日期 2013.08.02
申请人 常州时创能源科技有限公司 发明人 章圆圆;陈培良;符黎明
分类号 B08B3/08(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 主分类号 B08B3/08(2006.01)I
代理机构 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 代理人 陈扬
主权项 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺,其特征在于,对酸制绒后的多晶硅片,用含氧化剂的酸溶液或碱溶液进行清洗。
地址 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇芜申路168号C栋