一种无卡销、依赖后座-离心复合环境的用于微结构的闭锁机构

摘要

本发明涉及一种无卡销、依赖后座-离心复合环境的用于微结构的闭锁机构。本发明结构简单，可靠性高，易于批量生产，成本低，并实现了一体化加工。本发明包括MEMS平面弹簧、导向销、基板、上下盖板、和一体化加工出闭锁卡槽的滑块。闭锁机构超低能耗，能量来源为后座-离心复合环境，当滑块受后座-离心复合环境的影响，克服MEMS平面弹簧的阻力沿着导向销运动到位后，滑块上一体化加工出的闭锁卡槽与导向销卡死进行闭锁，当后座-离心复合环境消失的时候，滑块精确定位并且不会回弹。

主权项

一种无卡销、依赖后座‑离心复合环境的用于微结构的闭锁机构，组成是：MEMS平面弹簧、导向销、基板、上下盖板、和一体化加工出闭锁卡槽的滑块，其特征是：在平时状态下，MEMS平面弹簧拉伸滑块，导向销位于滑块导向槽的最下方，使滑块保持一种状态；当系统整体受后座‑离心复合环境的状态下，滑块克服MEMS平面弹簧的阻力沿着导向销运动，并且用闭锁卡槽卡死导向销，当后座‑离心复合环境消失的时候，由于闭锁卡槽的作用，克服MEMS平面弹簧的拉力而实现对微结构的闭锁，使滑块保持在另一种状态，其装配特征是：整体采用上盖板‑基板‑下盖板的三层平板结构，闭锁机构位于基板层，MEMS平面弹簧上下与基板和滑块相连接，导向销固定于上盖板的孔、滑块导向槽和下盖板的孔中。