一种基于微机械电子技术的微波移相器

摘要

本实用新型公开了一种基于微机械电子技术的微波移相器，它包括传输线（1）、电容驱动器（3）和介质基片（2），电容驱动器（3）设于介质基片（2）上，电容驱动器（3）一端通过U型梁（9）与传输线（1）的接地线相连，另一端与驱动电源相连，交指电容（8）均匀的排列在信号线（7）与接地线之间，形成分布参数传输线（1）。本实用新型具有以下优点：通过交指电容驱动器产生静电力，使分布参数传输线的地发生位移，进而使交指电容的电容量发生相应的变化，信号的相位也发生改变，当驱动电压连续变化时，实现相位的连续变化及无限个相位状态，结构简单，控制方便。

主权项

一种基于微机械电子技术的微波移相器，它包括分布参数传输线（1）和介质基片（2），分布参数传输线（1）设于介质基片（2）上端，分布参数传输线（1）包括信号线（7）、第一接地线（10）、第二接地线（4）和加载电容（8），信号线（7）设置在第一接地线（10）和第二接地线（4）之间，信号线（7）的两端分别设有信号输入端（6）和信号输出端（5），信号线（7）和接地线之间还设有交指加载电容（8），其特征在于：它还包括电容驱动器（3），电容驱动器（3）设于介质基片（2）上，电容驱动器（3）一端通过U型梁（9）与分布参数传输线（1）的接地线相连，另一端与驱动电源相连；所述的加载电容（8）为交指电容，交指电容（8）均匀的加载在信号线（7）与接地线之间，形成分布参数传输线。