| 摘要 |
1. Эллипсометр, включающий плечо поляризатора, формирующее световой луч заданного состояния поляризации и направления, и плечо анализатора, в котором осуществляется измерение состояния поляризации входящего в него светового луча, отраженного от исследуемого образца, отличающийся тем, что исследуемый образец укреплен неподвижно, при этом эллипсометр снабжен системой развертки его светового луча, выполненной в виде совокупности зеркал, установленных с возможностью перемещения и/или вращения для обеспечения падения светового луча в необходимое место на поверхности образца под необходимым углом и попадание отраженного от исследуемого образца светового луча в плечо анализатора.2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что плечо поляризатора и плечо анализатора укреплены неподвижно.3. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что плечо поляризатора и плечо анализатора могут быть укреплены с возможностью перемещения. |
