MEMS传声器

摘要

一种MEMS传声器包括：a)具有开放正面的壳体；b)安装在底座的一个面上的MEMS膜，底座安装在壳体内部基本上封闭的那一面上；以及c)覆盖正面的网，该网对于传声器灵敏的操作频率范围内的至少一些频率基本上声透明。

主权项

一种MEMS传声器，包括：壳体，具有基本上实心的正面和基本上实心的背面，和侧面；具有MEMS膜的底座，该底座安装在正面的声学端口的上方，MEMS膜背对正面；底座内部的空的空间，超声波穿过该空的空间以到达MEMS膜，该空的空间的尺寸低于对于感兴趣的超声波在空气中的波长；以及包含在背面的PCB盘，其用于将传声器安装在接收器中。