一种应用于高开孔率微小孔板的电铸装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于高开孔率微小孔板的电铸装置，包括电铸槽以及设置在电铸槽上方的上盖，其还包括由设置在所述电铸槽内的阳极金属板以及阴极芯模组成的电铸反应模块；用于控制电铸槽中电解液的温度的体液温度控制模块；用于对电铸槽进行抽真空的抽真空模块；用于对电铸槽内的电解液进行循环搅拌的循环搅拌模块；用于控制阴极芯模的温度的阴极温度控制模块。本实用新型除具有常规电铸功能外，还可以实现对封闭电铸槽抽气达低压，降低电铸环境的大气压力；对电铸槽中的电解液进行加热，提高电解温度；循环冲液搅拌电解液，增大搅拌强度；施加阴极温度热梯度、提高沉积面附近电解液温度的功能，这些措施均有利于加速电铸时高开孔率微小孔板上深沟槽中的物质输运和氢气排出，从而提高利用微细电铸效果。

主权项

一种应用于高开孔率微小孔板的电铸装置，包括电铸槽以及设置在所述电铸槽上方的上盖，其特征在于，还包括以下模块：‑电铸反应模块，包括设置在所述电铸槽内的阳极金属板以及阴极芯模；‑体液温度控制模块，用于控制电铸槽中电解液的温度；‑抽真空模块，用于对电铸槽进行抽真空；‑循环搅拌模块，用于对电铸槽内的电解液进行循环搅拌；‑阴极温度控制模块，用于控制阴极芯模的温度。