等离子体处理用磁控管电极

摘要

本发明的目的在于提供一种异常放电少、且能够长时间稳定地放电的等离子体处理用磁控管电极。将第二电极配置在比第一电极的外侧磁极的内侧端部更靠外侧的位置、或仅配置在磁通量密度低的部分。

主权项

一种等离子体处理用磁控管电极，其特征在于，至少包括：第一电极，其具有放电面；磁铁，其在所述第一电极的放电面侧构成磁控管用磁路；以及第二电极，其相对于所述第一电极电绝缘，以使得能够在第二电极与所述第一电极之间提供电位差，所述第二电极以相对于所述第一电极在与放电面垂直的方向上具有间隙地覆盖所述第一电极的放电面的方式配置，所述第二电极的内侧端部位于比所述磁路的外侧磁极的内侧端面更靠外侧、且比所述第一电极的外侧端面更靠内侧的位置。