发明名称 |
一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的双坩埚连续供料装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的双坩埚连续供料装置,其特征是所涉及的装置包括位于生长坩埚(3)中熔体(4)上方的固定生长籽晶(2)的籽晶杆(1),籽晶杆(1)由晶体生长设备的提拉头控制,生长坩埚(3)位于晶体生长加热炉中,加热炉的温度发热体(5)的温控设备独立控制,生长坩埚(3)通过连通器(6)与化料坩埚(9)中下面的熔体相连,化料坩埚(9)中的温度由位于其外壁的发热体(7)的加热功率控制,位于化料坩埚(9)中熔体上方的固态料(10)能够在晶体生长过程中补充熔体的消耗。所述的发热体(5)、(7)和发热体(8)的温度能够独立控制,这样做的有益效果是可以发热体7的加热功率能够给化料坩埚(9)和生长坩埚(3)供热,节省能量,同时保证化料坩埚和生长坩埚的液面处于相同高度。所述的生长坩埚(3)、化料坩埚(9)和连通器(6)由耐高温的钨金制作。所述的装置整体处于氮气保护中。 |
申请公布号 |
CN203295655U |
申请公布日期 |
2013.11.20 |
申请号 |
CN201320251073.9 |
申请日期 |
2013.04.09 |
申请人 |
嘉兴学院 |
发明人 |
万尤宝;张建新;沈慧娟;熊小青 |
分类号 |
C30B15/12(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/12(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的双坩埚连续供料装置,其特征是所涉及的装置包括位于生长坩埚(3)中熔体(4)上方的固定生长籽晶(2)的籽晶杆(1),籽晶杆(1)由晶体生长设备的提拉头控制,生长坩埚(3)位于晶体生长加热炉中,加热炉发热体(5)的温控设备独立控制,生长坩埚(3)通过连通器(6)与化料坩埚(9)中下面的熔体相连,化料坩埚(9)中的温度由位于其外壁的发热体(7)的加热功率控制,位于化料坩埚(9)中熔体上方的固态料(10)能够在晶体生长过程中补充熔体的消耗。 |
地址 |
314001 浙江省嘉兴市越秀南路56号 |