一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法

摘要

一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法，涉及一种光学元件。用HF酸溶液对透明光学元件表面清洗，然后利用抽真空装置对透明光学元件表面抽真空造成低压，同时在透明光学元件局部表面喷洒不与光学元件反应的小分子颜料的溶液，直至小分子颜料进入并充满亚表面裂纹，随后移除抽真空装置，再清洗透明光学元件表面，利用角度交叉的双摄像头对透明光学元件表面多点拍摄；利用显微镜调焦对界面下的缺陷成像，再通过分析算法，处理成三维图像，并计算亚表面裂纹深度。操作简便，可在位对透明光学元件进行检测；可对透明光学元件后续亚表面损伤去除量提供准确直观的信息参考；可在位对透明光学元件进行检测。

主权项

一种透明光学元件亚表面裂纹的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1）用HF酸溶液对透明光学元件表面清洗，然后利用抽真空装置对透明光学元件表面抽真空造成低压，同时在透明光学元件局部表面喷洒不与光学元件反应的小分子颜料的溶液，直至小分子颜料进入并充满亚表面裂纹，随后移除抽真空装置，再清洗透明光学元件表面，利用角度交叉的双摄像头对透明光学元件表面多点拍摄；2）利用显微镜调焦对界面下的缺陷成像，再通过分析算法，处理成三维图像，并计算亚表面裂纹深度。