| 发明名称 | 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，包括：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；将铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；再以5℃/min的升温速率升温至480℃，并保温20min～30min；再以5℃/min的升温速率升温至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。通过上述制备方法，从而形成均匀的，致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN103400895A | 申请公布日期 | 2013.11.20 |
| 申请号 | CN201310303061.0 | 申请日期 | 2013.07.18 |
| 申请人 | 深圳先进技术研究院 | 发明人 | 于冰;杨春雷;程冠铭;冯叶;鲍浪;郭延璐;徐苗苗 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人 | 宋鹰武;沈祖锋 |
| 主权项 | 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：步骤S110：提供一衬底；步骤S120：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于所述衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；步骤S130：将所述铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体，其中，所述硫化氢气体的浓度为1%～5%；步骤S140：将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；步骤S150：以5℃/min的升温速率升温经步骤S140后的反应物至480℃，并保温20min～30min；步骤S160：以5℃/min的升温速率升温经步骤S150后的反应物至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。 | ||
| 地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 | ||