一种喷淋系统及湿法刻蚀装置

摘要

本实用新型涉及基板刻蚀技术领域，特别涉及一种喷淋系统及湿法刻蚀装置，用于提高刻蚀的良品率。该喷淋系统包括：位置固定且相对设置的两个支撑架；位于两个支撑架之间的多个喷淋管道组，每个喷淋管道组的两端分别与两个支撑架相连，每个喷淋管道组包含至少一个喷淋管道和至少一个转轴，每个喷淋管道的至少一端与转轴固定连接；多个摆动块，每个摆动块的一端与一个转轴固定连接；分别与多个摆动块另一端连接的拉杆；与拉杆传动连接的动力装置，拉杆在动力装置的驱动下带动所述多个摆动块摆动，喷淋管道在对应的摆动块和转轴的带动下转动；以及分别与各个喷淋管道连通，为各个喷淋管道提供液体的液体供应管道。

主权项

一种喷淋系统，其特征在于，包括：位置固定且相对设置的两个支撑架；位于所述两个支撑架之间的多个等间距排列的喷淋管道组，每个所述喷淋管道组的两端分别与两个支撑架相连，每个所述喷淋管道组包含至少一个喷淋管道和至少一个转轴，每个所述喷淋管道的至少一端与转轴固定连接；每个所述喷淋管道具有多个喷嘴；多个摆动块，每个摆动块的一端与一个所述转轴固定连接，每个所述摆动块在垂直于所述喷淋管道的平面内摆动；分别与所述多个摆动块另一端连接的拉杆；与所述拉杆传动连接的动力装置，所述拉杆在所述动力装置的驱动下带动所述多个摆动块摆动，所述喷淋管道在对应的摆动块和转轴的带动下转动；以及分别与各个所述喷淋管道连通，为各个所述喷淋管道提供液体的液体供应管道。