压力传递装置以及具有该压力传递装置的压力传感器

摘要

压力传递装置包括压力传递装置主体(20)和分离膜(10)；在压力传递装置主体(20)和分离膜(10)之间形成压力室，压力室的体积V由分离膜的位置决定；分离膜(10)具有材料厚度h且具有面积为A的工作区域；分离膜(10)具有一个参考位置，在此位置上压力室包含参考体积Vref，并且分离膜是可偏转的，从而可以使压力室的体积在Vref±ΔVSoll的范围内变动；无量纲的偏移量w(ΔV)与体积变化ΔV相关联，w(ΔV):＝(3·ΔV)/(A·h)；测定ΔVSoll以得到|w(ΔVSoll)|≥2.5；对于所有满足|w(ΔV)|≤|w′(ΔV)|且其中|w′(ΔV)|≥0.5*|w(ΔVSoll)|的w(ΔV)，分离膜都具有附加的非轴对称的偏转模式，它叠加在w(ΔV)的轴对称偏转上；非轴对称的偏转模式在|w(ΔV)|＝0.4*|w(ΔVSoll)|时至少是非轴对称的偏转模式的最大偏转的0.3倍。

主权项

压力传递装置，包括： 具有上表面的压力传递装置主体（20），和 分离膜（10），其沿着环形的密封面（21）与压力传递装置主体（20）压密地连接， 其中，在压力传递装置主体（20）的上表面和分离膜（10）之间形成压力室，该压力室的体积V由分离膜的位置决定， 其中，分离膜（10）具有材料厚度h且具有由密封面限定的面积为A的可偏转的工作区域， 其中，分离膜（10）具有冲压而成的轮廓（13）， 其中，分离膜（10）具有参考位置，在此参考位置上压力室包含参考体积Vref， 其中，分离膜能够从参考位置开始在两个方向上至少偏转一定程度，使得压力室的体积能够在直至Vref+/‑ΔVsoll的值之间变动， 其中ΔVsoll是必须由分离膜的偏转所接纳的特定的体积变化； 其中，体积变化ΔV与一个无量纲的偏转量w相关联，w定义为 w(ΔV):=(3·ΔV)/(A·h)， 其中，测定ΔVsoll以得到|w(ΔVsoll)|≥2.5； 其特征在于： 存在无量纲的偏转量的值w’(ΔV)，其满足|w’(ΔV)|≥0.5*|w(ΔVSoll)|的标准， 其中，对于所有满足|w(ΔV)|≤|w’(ΔV)|的w(ΔV)，分离膜都具有附加的非轴对称偏转模式，该偏转模式叠加在w(ΔV)的轴对称偏转上，以及 其中，非轴对称偏转模式的偏转在|w(ΔV)|=0.4*|w(ΔVSoll)|时至少是非轴对称偏转模式的最大偏转的0.3倍。