一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机

摘要

本发明属于真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上。所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。本发明很好地解决了放气问题、污染问题，降低电器故障，机械可靠性更完善，极大提高生产效率。

主权项

一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上；其特征在于：所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。