| 发明名称 | 一种基板吸附装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及搬运设备技术领域，公开了一种基板吸附装置，包括：具有抽真空管路的机械手臂，固定于机械手臂上的真空管和基板承托套，所述真空管与所述抽真空管路相连通，所述基板承托套套设于所述真空管的外侧，所述基板承托套的承托端面与所述基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜。本实用新型公开的基板吸附装置用以改善柔性基板在搬运的过程中跌落破损，有效地降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203300622U | 申请公布日期 | 2013.11.20 |
| 申请号 | CN201320313089.8 | 申请日期 | 2013.05.31 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 高涛 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种基板吸附装置，包括：具有抽真空管路的机械手臂，固定于机械手臂上的真空管和基板承托套，所述真空管与所述抽真空管路相连通，所述基板承托套套设于所述真空管的外侧，其特征在于，所述基板承托套的承托端面与所述基板的接触区域相贴合且可随基板的接触区域倾斜而倾斜。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||