去除边缘光刻胶装置

摘要

本发明涉及一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。本发明通过改变化学药液的进入管道、喷射方向和设置具有负压力的排管，避免了现有装置使用中出现的气液干涉，减少了化学药液溅射到玻璃基板上形成不良的几率，同时节约氮气，降低了生产成本。

主权项

一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，其特征在于，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针；所述上喷针与玻璃基板的夹角为30°～60°，所述下喷针与玻璃基板的夹角为30°～60°。