多晶硅介质熔炼后初步定向凝固工艺

摘要

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种多晶硅介质熔炼后初步定向凝固工艺，包括以下步骤：（1）采用保温碳砖砌制成长宽单元数量一致的矩阵式浇注模具，矩阵式浇注模具最外层包裹有保温材料，矩阵式浇注模具底部设置有水冷装置；（2）将介质熔炼处理后的硅液按照先中心后四边的顺序倒入矩阵式浇注模具的每个单元中，然后盖上石墨盖；（3）经水冷装置的循环水冷却作用下，矩阵式浇注模具中的硅液冷却凝固成硅锭，切除硅锭的顶部及四周的边皮料。本发明的优点在于：（1）硅锭中金属杂质含量降低，为后续的正常工艺中的定向凝固减轻了压力；（2）边皮料经清洗后可以重复利用；（3）金属杂质含量的降低可以为后续工艺降低相应成本。

主权项

一种多晶硅介质熔炼后初步定向凝固工艺，其特征在于包括以下步骤：（1）采用保温碳砖砌制成长宽单元数量一致的矩阵式浇注模具，矩阵式浇注模具最外层包裹有保温材料，矩阵式浇注模具底部设置有水冷装置；（2）将介质熔炼处理后的硅液按照先中心后四边的顺序倒入矩阵式浇注模具的每个单元中，然后盖上石墨盖；（3）经水冷装置的循环水冷却作用下，矩阵式浇注模具中的硅液冷却凝固成硅锭，切除硅锭的顶部及四周的边皮料，其中切除顶部的体积占硅锭体积的15～20%。