一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器

摘要

本发明涉及一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器，其特征在于：包括壳体（1），壳体（1）的截面成锥体状，在壳体（1）的上端设有进气口（1a），下端设有出气口（1b），进气口（1a）连接进气管（2）。在壳体（1）的下侧设有竖直的下壳体（1c），在下壳体（1c）内均布一组终极隔板（3），中间隔板（3a）的上端点竖直向上延伸一段距离，由中间隔板（3a）向两侧每间隔一个隔板的下一个隔板终极（3）均倾斜向上延伸一段距离，倾斜延伸的终极隔板（3）的上端点所在的水平面均低于中间隔板（3a）的上端点所在的水平面。本发明的优点：本装置制造简单，成本较低，对气体的均匀分配效果好。

主权项

一种用于平板玻璃镀膜的气体均匀分配器，其特征在于：包括壳体（1），壳体（1）的截面成锥体状，在壳体（1）的上端设有进气口（1a），在进气口（1a）上连接进气管（2）；在壳体（1）的下端设有出气口（1b），壳体（1）的下侧为竖直的下壳体（1c），在下壳体（1c）内均布一组终极隔板（3），处于下壳体中间位置的中间隔板（3a）的上端点竖直向上延伸一段距离，由中间隔板（3a）向两侧每间隔一个终极隔板（3a）的下一个终极隔板（3）的顶端均倾斜向上延伸一段距离，倾斜延伸的终极隔板（3）的上端点所在的水平面均低于中间隔板（3a）的上端点所在的水平面。