发明名称 |
一种基于牺牲层的微型薄膜电路划切方法 |
摘要 |
本发明提出了一种基于牺牲层的微型薄膜电路划切方法,其解决了微型薄膜电路划切脱落的难题,减少了电路边缘划切崩裂现象的发生,同时能够改善划切电路边缘电路导带的翘曲,提高电路的划切品质。该划切方法包括以下步骤:提供一整片至少有一面被Au完全金属化的薄膜电路的步骤;在薄膜电路被Au完全金属化的面上电镀一层Ni的步骤;使用环氧树脂胶把镀有Ni层的薄膜电路基板粘结在玻璃基板的步骤;对薄膜电路基板进行划切的步骤;腐蚀去掉Ni层的步骤。由于环氧树脂胶粘接强度高,薄膜电路在划切过程中不会有脱落现象的发生,在划切过程中陶瓷薄膜电路基板产生的振动位移小,能够减少划切过程薄膜电路陶瓷基板崩裂现象的发生。 |
申请公布号 |
CN103402313A |
申请公布日期 |
2013.11.20 |
申请号 |
CN201310289411.2 |
申请日期 |
2013.07.10 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
发明人 |
王进;刘金现;马子腾;孙建华;杨超 |
分类号 |
H05K3/00(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/00(2006.01)I |
代理机构 |
济南舜源专利事务所有限公司 37205 |
代理人 |
王连君 |
主权项 |
一种基于牺牲层的微型薄膜电路的划切方法,所述薄膜电路以陶瓷为基板,其特征在于:所述划切方法包括以下步骤:(1)提供一整片至少有一面被Au完全金属化的薄膜电路的步骤;(2)在薄膜电路被Au完全金属化的面上电镀一层Ni的步骤;(3)使用环氧树脂胶把上述镀有Ni层的薄膜电路基板粘结在玻璃基板的步骤;(4)对薄膜电路基板进行划切的步骤;(5)将划切后的陶瓷薄膜电路基板浸泡在腐蚀液中,腐蚀去掉Ni层,陶瓷薄膜电路与环氧树脂胶分离形成最终薄膜电路的步骤。 |
地址 |
266555 山东省青岛市经济技术开发区香江路98号 |