一种用于超声波电源的阻抗无级匹配网络及控制方法

摘要

本发明涉及一种用于超声波电源的阻抗无级匹配网络及控制方法,阻抗无级匹配网络包括第一晶闸管和第二晶闸管，以及第一电感和第二电感。第一晶闸管的阴极、第二晶闸管的阳极、第一电感的一端相连接；第一晶闸管的阳极、第二晶闸管的阴极、第二电感的一端相连接。第一电感的另一端和第二电感的另一端接于超声波电源主电路逆变输出端，与换能器并联。超声波电源逆变桥输出电压采样信号经过信号处理分别产生与输出电压负向、正向同步的驱动信号分别用于驱动第一晶闸管的门极和第二晶闸管的门极，占空比控制电路可以控制晶闸管导通角的大小，从而调节等效电感的大小，达到频率跟踪微调的效果。

主权项

一种用于超声波电源的阻抗无级匹配网络，其特征在于包括信号处理模块、占空比控制模块、第一晶闸管(THY1)和第二晶闸管(THY2)、以及第一电感(L1)和第二电感(L2)，第一晶闸管(THY1)的阴极（K1）与第二晶闸管(THY2)的阳极（A2）相连接，第一晶闸管(THY1)的阳极（A1）与第二晶闸管(THY2)的阴极（K2）相连接，第一电感(L1)的一端与第一晶闸管(THY1)的阴极（K1）和第二晶闸管(THY2)的阳极（A2）相连接；第二电感(L2)的一端与第一晶闸管的阳极（A1）和第二晶闸管的阴极（K2）相连接；第一电感(L1)的另一端和第二电感(L2)的另一端接于超声波电源主电路逆变桥输出端，与超声波换能器并联。