FORMATION D'UN TAMPON DE POLISSAGE A BASE D'OXYDE DE METAL ALCALINO-TERREUX

摘要

L'invention met en jeu un procédé pour préparer un tampon de polissage contenant un oxyde de métal alcalino-terreux utile pour polir au moins l'un parmi des substrats semi-conducteurs, magnétiques, et optiques. Le procédé comprend l'introduction d'un courant d'alimentation de micro-éléments polymères remplis de gaz dans un jet de gaz, les micro-éléments polymères ayant une densité variable, une épaisseur de paroi variable et une granulométrie variable. Le procédé fait passer les micro-éléments polymères dans le jet de gaz adjacent à un bloc Coanda, le bloc Coanda ayant une paroi incurvée pour séparer les microéléments polymères avec effet Coanda, inertie, et résistance à l'écoulement de gaz. Il sépare ensuite divers constituants de type oxyde de métal alcalino-terreux à partir de la paroi incurvée du bloc Coanda pour nettoyer les micro-éléments polymères.