发明名称 Temperatursensor als Flip-Chip auf Leiterplatte
摘要 Zur Herstellung eines Temperatursensors, bei dem eine mindestens 100 Ohm aufweisende Leiterbahn (42) aus Platin über Kontaktfelder (41) mit zwei Leiterbahnen (12,16) aus Kupfer verbunden wird, und die Leiterbahn (42) aus Platin in Dünnschichttechnik als eine mindestens 10 mm lange, 3 bis 50 µm breite und 0,1 bis 5 µm dicke Platinbahn auf einer 1 bis 10 mm2 großen rechteckigen Fläche eines 0,1 bis 1 mm dicken keramischen Plättchen(40)an ihren beiden Enden in 20 bis 500 fach verbreiterte Kontaktfelder (41) übergeht, erfolgt erfindungsgemäß Strukturieren dieser beiden verbreiterten Felder (41) im Inneren dieser Felder (41) Auftragen einer Metallpaste auf beiden innerlich strukturierten Feldern, und Einbrennen der Metallpaste, so dass die aus der Paste erzeugte Dickschicht 3/Pad mit einer oxidischen Komponente auf der durch die innerliche Struktur der Kontaktfelder (41) frei zugänglichen oxidischen Oberfläche des keramischen Plättchens (40) verankert wird.
申请公布号 AT511506(B9) 申请公布日期 2013.11.15
申请号 AT20120050192 申请日期 2012.05.22
申请人 HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH 发明人 WIENAND KARLHEINZ;HACKER GERNOT;DIETMANN STEFAN
分类号 G01K7/18 主分类号 G01K7/18
代理机构 代理人
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