一种基板检查装置及系统

摘要

本实用新型实施例提供一种基板检查装置及系统，涉及显示器制造领域，能够使一台基板检查装置同时实现在线检查和离线检查，提高了设备的稼动率，同时降低了成本，并且有利于后期的管理和维护。本实用新型的基板检查装置包括：检查单元；与检查单元连接，用于传送已制作完成的基板和未制作完成的基板的基板传送装置，其中，基板传送装置包括传送主体，设置于传送主体上方的存储装置，传送主体上设置有多个导孔，在传送主体下方对应导孔设置有具有可伸缩机械臂的搬运装置，机械臂可以穿过导孔并可沿传送方向运动；用于传送已制作完成的基板至检查单元的至少一个第一传送单元；以及用于传送未制作完成的基板至检查单元的至少一个第二传送单元。

主权项

一种基板检查装置，其特征在于，包括：检查单元；与所述检查单元连接，用于传送已制作完成的基板和未制作完成的基板的基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括传送主体，设置于所述传送主体上方的存储装置，所述传送主体上设置有多个导孔，在所述传送主体下方对应所述导孔设置有具有可伸缩机械臂的搬运装置，所述机械臂可以穿过所述导孔并可沿传送方向运动；与所述基板传送装置连接，用于传送已制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第一传送单元；以及与所述基板传送装置连接，用于传送未制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第二传送单元。