一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法

摘要

本发明公开了一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法。包括作为服务器的控制分系统，作为客户端的水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统；控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间构建形成网络拓扑结构，且采用以太网进行数据交换；采用服务器/客户端模式，在控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间建立虚拟通讯关系，为每对虚拟通讯关系建立一条虚拟通讯链路，每条虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话。本发明能实现浸没式光刻机中浸液液体传送系统中控制分系统与其他分系统进行通讯，灵活高效地实现通讯和信息传递功能，从而实现了浸液液体传送系统高效有序地运行。

主权项

一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法，其特征在于：浸液液体传送系统包括作为服务器的控制分系统，作为客户端的水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统；控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间构建形成网络拓扑结构，且采用以太网进行数据交换；采用服务器/客户端模式，在控制分系统与水处理分系统、传输控制分系统及位姿调节分系统之间建立虚拟通讯关系，为每对虚拟通讯关系建立一条虚拟通讯链路，每条虚拟通讯链路维护物理上的一对节点的会话。