发明名称 半导体结构及其形成方法
摘要 本发明公开了一种半导体结构,包括设置在衬底上的栅极结构。至少一个轻掺杂区与位于衬底中的栅极结构邻接。至少一个轻掺杂区具有第一导电类型。源极部件和漏极部件位于在衬底中的栅极结构的相对侧上。源极部件和漏极部件具有第一导电类型。源极部件位于至少一个轻掺杂区中。降压拾取区与至少一个轻掺杂区中的源极部件邻接。降压拾取区具有第二导电类型。本发明还公开了半导体结构的形成方法。
申请公布号 CN103390648A 申请公布日期 2013.11.13
申请号 CN201210298136.6 申请日期 2012.08.20
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈柏羽;黄婉华;陈晶盈;吴国铭
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种半导体结构,包括:第一栅极结构,设置在衬底上;至少一个轻掺杂区,具有第一导电类型,并且与位于所述衬底中的所述栅极结构邻接;源极部件和漏极部件,具有所述第一导电类型,并且位于所述衬底中的所述栅极结构的相对侧,其中,所述源极部件位于所述至少一个轻掺杂区中;以及第一降压拾取区,具有第二导电类型,并且与位于所述至少一个轻掺杂区中的所述源极部件邻接。
地址 中国台湾新竹