质量鉴别器

摘要

公开了一种用于质量鉴别的分析装置。该分析装置包括：样本室，其用于保持气态样本；分析室，其被设置成接收来自所述样本室的样本气体；质量鉴别器，其被设置成在所述分析室中在从所述样本气体产生的多个离子种类之间进行鉴别；以及壁部，其将所述样本室与所述分析室隔开，所述壁部包括能够控制成裂开并由此将样本气体从所述样本室释放到所述分析室的裂开区。在一个实施方式中，所述裂开区在施加电流或机械力时裂开。所述壁部可以是微加工的。还公开了一种质量鉴别方法。

主权项

一种分析装置，该分析装置包括：样本室，其用于保持气态样本；分析室，其被设置成接收来自所述样本室的样本气体；质量鉴别器，其被设置成在所述分析室中在从所述样本气体产生的多个离子种类之间进行鉴别；以及壁部，其将所述样本室与所述分析室隔开，所述壁部包括能够控制成裂开并由此将样本气体从所述样本室释放到所述分析室的裂开区，其中，所述壁部包括不导电基板或半导体基板，并且所述壁部的所述裂开区包括被设置为在由控制器施加电流时裂开的可熔器件，所述可熔器件是所述基板上的金属镀敷层。