发明名称 在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法
摘要 本发明涉及在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法,选择玻璃作为基底,通过化学溶液沉积法制备钙钛矿结构BiFeO3铁电薄膜,然后通过物理溅射法在薄膜上制备0.5mm*0.5mm顶部电极即可。与现有技术相比,本发明能够以低的成本在玻璃基板上制备出一致性高,重复性好的具有钙钛矿结构的BiFeO3铁电光伏薄膜。所制备的薄膜具有优越的光伏特性并具有二极管的单向导电特性,这些优越的特性可使BiFeO3铁电薄膜在光伏电池及光电子器件领域中获得应用。
申请公布号 CN102544216B 申请公布日期 2013.11.13
申请号 CN201210009273.3 申请日期 2012.01.12
申请人 上海交通大学 发明人 郭益平;郭兵;李华;刘河洲
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人 林君如
主权项 在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)BFO前驱体溶液的配制将Bi(NO3)3·5H2O和Fe(NO3)3·9H2O按摩尔比1:1的比例完全溶于乙二醇甲醚,获得棕红色澄清透明且稳定前驱体溶液;(2)BFO铁电薄膜的制备以玻璃基板为基底,通过化学溶液沉积法制备得到BFO铁电薄膜;(3)上电极的制备在带有0.5mm*0.5mm方孔的掩膜板的遮挡下物理溅射方法在BFO铁电薄膜上沉积0.5mm*0.5mm的电极即可。
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