发明名称 |
在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法 |
摘要 |
本发明涉及在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法,选择玻璃作为基底,通过化学溶液沉积法制备钙钛矿结构BiFeO3铁电薄膜,然后通过物理溅射法在薄膜上制备0.5mm*0.5mm顶部电极即可。与现有技术相比,本发明能够以低的成本在玻璃基板上制备出一致性高,重复性好的具有钙钛矿结构的BiFeO3铁电光伏薄膜。所制备的薄膜具有优越的光伏特性并具有二极管的单向导电特性,这些优越的特性可使BiFeO3铁电薄膜在光伏电池及光电子器件领域中获得应用。 |
申请公布号 |
CN102544216B |
申请公布日期 |
2013.11.13 |
申请号 |
CN201210009273.3 |
申请日期 |
2012.01.12 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
郭益平;郭兵;李华;刘河洲 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海科盛知识产权代理有限公司 31225 |
代理人 |
林君如 |
主权项 |
在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)BFO前驱体溶液的配制将Bi(NO3)3·5H2O和Fe(NO3)3·9H2O按摩尔比1:1的比例完全溶于乙二醇甲醚,获得棕红色澄清透明且稳定前驱体溶液;(2)BFO铁电薄膜的制备以玻璃基板为基底,通过化学溶液沉积法制备得到BFO铁电薄膜;(3)上电极的制备在带有0.5mm*0.5mm方孔的掩膜板的遮挡下物理溅射方法在BFO铁电薄膜上沉积0.5mm*0.5mm的电极即可。 |
地址 |
200240 上海市闵行区东川路800号 |