一种酸性溶液清洁异质结单晶硅薄膜太阳能电池

摘要

目前异质结单晶硅薄膜太阳电池皆于清洗制绒后，进入等离子增强式化学气相沉积设备直接制备钝化层，而本发明即为提供一种酸性溶液清洁工艺于硅片进入等离子增强式化学气相沉积设备前先将硅片表面进行清洁，如此可避免于运送过程所造成的不必要的污染和氧化层，进而提升转换效率。

主权项

本发明关于一种可提升异质结单晶硅薄膜太阳电池效率的新颖技术方法, 其目的系藉由酸性溶液清洁工艺，使得硅片表面洁净度提高，提升整体异质结单晶硅薄膜太阳电池的光电转换效率。