发明名称 |
微流控芯片的激光加工方法 |
摘要 |
本发明提出一种微流控芯片的激光加工方法,其特征在于该方法包括以下特征步骤:①将代加工的高分子聚合物芯片清洗干净、吹干;②将一张1~30微米厚度的高分子薄膜涂覆于待加工表面;③使用二氧化碳激光设备,在聚合物芯片上雕刻加工出通孔、通道、混合器微等结构;④将高分子薄膜从芯片表面剥离,获得加工有微结构的微流控芯片。使用本发明所提出的方法进行聚合物微流控芯片的加工,不仅能够最大程度上改善重铸物的影响,而且能够保证芯片加工表面的清洁度。 |
申请公布号 |
CN103386552A |
申请公布日期 |
2013.11.13 |
申请号 |
CN201310341536.5 |
申请日期 |
2013.08.07 |
申请人 |
苏州扬清芯片科技有限公司 |
发明人 |
叶嘉明 |
分类号 |
B23K26/36(2006.01)I;B23K26/18(2006.01)I |
主分类号 |
B23K26/36(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
微流控芯片的激光加工方法,其特征在于该方法包括以下特征步骤:①将代加工的高分子聚合物芯片清洗干净、吹干;②将一张1~30微米厚度的高分子薄膜涂覆于待加工表面;③使用二氧化碳激光设备,在聚合物芯片上雕刻加工出通孔、通道、混合器微等结构;④将高分子薄膜从芯片表面剥离,获得加工有微结构的微流控芯片。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市园区唯华路2号 |