叠层衍射光学元件及其制造方法

摘要

本发明公开了叠层衍射光学元件及其制造方法。该叠层衍射光学元件包括：基板；和设置在基板上并包含光学有效部和与光学有效部相邻的光学有效外部的树脂层。树脂层中的光学有效外部具有使得层厚在向基板的外周延伸时减小的连续形状。在连接连续形状的两个端部的直线和基板表面的在与更接近该基板表面的端部相对的点处的切线之间形成的角度处于20～60度的范围内。

主权项

一种叠层衍射光学元件，包括：基板；和树脂层，其设置在基板上，并且包含光学有效部和与光学有效部相邻的光学有效外部，其中，树脂层中的光学有效外部具有使得层厚在向基板的外周延伸时减小的连续形状，并且，其中，连接所述连续形状的两个端部的直线和基板的表面的在与更接近基板的该表面的端部相对的点处的切线之间形成的角度处于20～60度的范围内。