在工件上形成光学膜的设备

摘要

本实用新型涉及在工件上形成各种功能光学膜的设备，该设备的结构包括一机座，机座上设有一密封微波罩，密封微波罩的上下位置分别连接有输气管道和真空泵；所述密封微波罩内安装有工件固定夹，且所述密封微波罩上方依次安装有天线、同轴机构、以及模式转换器，且所述模式转换器通过波导管连接有微波发生源，工作时将工件直接置于密封微波罩内即可完成清洗、加热、活化、附着等一系列工序，自动化程度好，具有很高的沉积效率，本实用新型结构新颖，同样适用于形状复杂的3D工件表面的处理，灵活性大，具有广泛的应用前景和经济效益。

主权项

一种在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的设备包括一机座，机座上设有一密封微波罩，密封微波罩的上下位置分别连接有输气管道和真空泵；所述密封微波罩内安装有工件固定夹，且所述密封微波罩上方依次安装有天线、同轴机构、模式转换器，且所述模式转换器通过波导管连接有微波发生源。