液体材料的涂布方法、涂布装置及程序

摘要

本发明提供一种可高精度地修正吐出量的变化且使涂布形状或圆角形状稳定的涂布方法、涂布装置及程序。解决手段：是利用毛细管现象填充从吐出装置吐出的液体材料的液体材料的涂布方法，包括：由连续的多个涂布区域所构成的涂布图案制作工序；制作多个以规定的比率将多个休止脉冲组合于一个吐出脉冲与而成的循环，并分配至各个涂布区域的工序；以所分配的循环对各个涂布区域实施涂布的工序；以预先设定的修正周期，测量在修正周期的时间点上的吐出量，并算出吐出量的修正量的修正量算出工序；以及根据由修正量算出工序所算出的修正量，对于1个以上的循环，调整相对于一个吐出脉冲的休止脉冲的比率的工序；将休止脉冲的长度设定为与吐出脉冲的长度相比充分短的液体材料的涂布方法以及装置和程序。

主权项

一种液体材料的涂布方法，其特征在于，是利用毛细管现象将从吐出装置吐出的液体材料填充至基板与载置于其上的工件的间隙的液体材料的涂布方法，包括：由连续的多个涂布区域所构成的涂布图案制作工序；循环分配步骤，制作多个以规定的比率将多个休止脉冲组合于一个吐出脉冲而成的循环，并分配至各个涂布区域；涂布工序，以所分配的循环对各个涂布区域实施涂布；修正量算出工序，以预先设定的修正周期，测量在修正周期的时间点上的来自吐出装置的吐出量，并算出吐出量的修正量；以及吐出量调整工序，根据由所述修正量算出工序所算出的修正量，对于一个以上的循环，调整相对于一个吐出脉冲的休止脉冲的比率，将休止脉冲的长度设定为与吐出脉冲的长度相比充分短。