一种测量干涉仪波长的装置及方法

摘要

本发明公开了一种测量工件台干涉仪波长的装置，包括：分别位于该工件台相对两侧的第一、第二干涉仪，该第一、第二干涉仪发出的第一、第二测量光束组成一波长测量轴，以及计算模块，用以计算该波长测量轴的理论长度、实际长度以及计算该第一、第二测量光束的实际波长，进而通过本发明之第一、第二干涉仪及计算模块实现对干涉仪测量光束的波长进行实时计算。本发明同时还公开了一种测量工件台干涉仪波长的方法。

主权项

1.一种测量工件台干涉仪波长的装置，包括：第一干涉仪及第二干涉仪，该第一、第二干涉仪分别位于该工件台的相对两侧，该第一干涉仪所发出的第一测量光束与该第二干涉仪所发出的第二测量光束组成一波长测量轴，该第一测量光束与第二测量光束位于同一直线上，该第一、第二干涉仪分别获得该第一、第二测量光束的第一光程及第二光程，该第一、第二干涉仪测量该第一、第二测量光束的光波相对于一测量周期初始时刻的周期变化数；以及计算模块，用以依据该第一、第二干涉仪获得的第一光程L1及第二光程L2计算该波长测量轴的理论长度L₀＝L1+L2，并依据该波长测量轴的理论长度L₀、该工件台的运动参数计算该波长测量轴的实际长度其中，Ry、Rz分别为该工件台的运动参数中的倾斜和旋转角度，即分别为相对于y轴和z轴的旋转角度，x轴方向为该波长测量轴方向，k是工件台沿该波长测量轴方向的长度，以及依据该波长测量轴的实际长度L、该第一、第二测量光束的光波相对于该测量周期初始时刻的周期变化数δ_i，以及该测量周期初始时刻的该第一、第二测量光束的初始波长λ₀计算该第一、第二测量光束的实际波长