石英舟定位装置和石英舟传送装置

摘要

本实用新型提供了一种石英舟定位装置和石英舟传送装置，石英舟定位装置包括：第一定位板，第一定位板包括本体和凸部，凸部沿垂直于本体的长度方向的方向突出于本体；第二定位板，与凸部连接，第一定位板、第二定位板和凸部间形成定位槽；弹性压紧部，设置在第二定位板上，弹性压紧部的至少一部分朝向第一定位板凸出，弹性压紧部朝向第一定位板的方向施压；定位块，设置在定位槽内，定位块用于将石英舟的舟脚定位在与弹性压紧部对应的位置。弹性压紧部可以将石英舟的舟脚压紧在定位槽内，避免舟脚在定位槽内移动，石英舟不会再出现位置的移动，这样就避免了硅片与石英舟发生不正常的碰撞，降低了硅片废片的出现率，提高了硅片的成品率。

主权项

一种石英舟定位装置，其特征在于，包括：第一定位板（10），所述第一定位板（10）包括本体（11）和凸部（12），所述凸部（12）沿垂直于所述本体（11）的长度方向的方向突出于所述本体（11）；第二定位板（20），与所述凸部（12）连接，所述第一定位板（10）、所述第二定位板（20）和所述凸部（12）间形成定位槽；弹性压紧部（40），设置在所述第二定位板（20）上，所述弹性压紧部（40）的至少一部分朝向所述第一定位板（10）凸出，所述弹性压紧部（40）朝向所述第一定位板（10）的方向施压；定位块（30），设置在所述定位槽内，所述定位块（30）用于将石英舟的舟脚定位在与所述弹性压紧部（40）对应的位置。