一种微型氮化镓集成器件

摘要

一种微型氮化镓集成器件，包括提供氮化镓衬底材料；在氮化镓衬底表面制作欧姆接触电极和肖特基接触电极，形成排列成全波整流桥结构的平面氮化镓二极管阵列、独立的场效应晶体管和独立的平面二极管。应用本发明，可以在单一芯片上实现复杂的功能，降低制造成本，降低封装成本；应用本发明的电力转换装置，可以降低导通损耗、提高开关速度、减少散热装置、减小电路面积、减小电容和电感器件的体积和重量，实现小型化和轻型化。

主权项

一种微型氮化镓集成器件，其特征在于，包括：氮化镓衬底；在所述氮化镓衬底上形成隔离结构，将所述氮化镓衬底隔离为至少2个电绝缘区域的隔离区域；位于各区域的排列成全波整流桥结构的平面型二极管阵列，以及零个或者一个独立平面二极管，以及零个或者一个独立场效应晶体管。