一种自旋阀磁阻元件的热磁处理装置及方法

摘要

本发明涉及一种自旋阀磁阻元件的热磁处理装置及方法。所述装置包括导片器、加热器、“D”形软磁体、环形磁场线圈和收集器；所述方法包括将自旋阀磁阻元件推入，元件从预加热区依次经过高温加热区、高温稳定区进行加热，然后进入“D”形软磁体直边中部的水平间隙进行低频强磁处理；随着元件继续被推进，处理后的元件不断滑入元件收集器中。所述方法可以消除磁阻元件屏蔽材料层的晶格缺陷，减小磁滞区几何中心对应于磁场输出的坐标系的原点的离散区域和微分磁导率的离散性，从而提高元件的稳定性和灵敏度。

主权项

一种自旋阀磁阻元件的热磁处理装置，其特征在于：所述装置包括导片器（2）、加热器（3）、“D”形软磁体（4）、环形磁场线圈（5）和收集器（6）；所述导片器（2）为管状结构，在导片器（2）中部沿轴向开有供自旋阀磁阻元件（12）通过的导片槽（13）,导片槽（13）两端分别为入口端和出口端；在导片槽（13）入口端设有可将自旋阀磁阻元件（12）推入导片槽（13）内的推杆机构（7）；在推杆机构（7）前方，导片槽（13）斜上方位置设有预热区进气口（1）；在导片槽（13）出口端的垂直方向上设有两个降温进气口（11），所述预热区进气口（1）和降温进气口（11）均与导片槽（13）相通；导片槽（13）出口端接收集器（6）；所述加热器（3）包覆在导片器（2）外部；加热器（3）设有三个加热区域，从自旋阀磁阻元件（12）入口端到出口端依次是预加热区（8）、高温加热区（9）和高温稳定区（10）；在加热器（3）外部包覆有保温层（15）；所述“D”形软磁体（4）的直边中部开有供自旋阀磁阻元件（12）通过的水平间隙；所述环形磁场线圈（5）包覆在“D”形软磁体（4）框架的外圆周表面，为绝缘导线绕制的厚壁线圈环；所述“D”形软磁体（4）的直边与导片器（2）垂直，导片器（2）末端穿过“D”形软磁体（4）直边中部的水平间隙；高温稳定区（10）和两个降温进气口（11）的末端均位于“D”形软磁体（4）的水平间隙内，两个降温进气口（11）的末端位于高温稳定区（10）和导片器（2）出口端之间；自旋阀磁阻元件（12）经导片槽（13）通过“D”形软磁体（4）的水平间隙，由导片槽（13）出口端通过收集器（6）收集。