一种基板卡匣装置

摘要

一种基板卡匣装置，用于装载基板的卡匣框架以及用于翻转所述卡匣框架的框架翻转机构；所述卡匣框架包括基板置入口；且在所述卡匣框架内设有多个用于固定并承载基板的基板固定机构；所述框架翻转机构与所述卡匣框架固定连接，用于实现所述卡匣框架内的基板多角度翻转。本发明基板卡匣装置在玻璃基板加热过程中，通过玻璃基板多角度的翻转可有效提高基板各部分的受热均匀度，并克服现有基板静止加热过程中，基于重力的作用基板表面形成凹陷的缺陷，从而提高基板的平整性与尺寸精度。

主权项

一种基板卡匣装置，其特征在于，包括：用于装载基板的卡匣框架以及用于翻转所述卡匣框架的框架翻转机构；所述卡匣框架包括基板置入口；且在所述卡匣框架内设有多个用于固定并承载基板的基板固定机构；所述框架翻转机构与所述卡匣框架固定连接，用于实现所述卡匣框架内的基板翻转。