基于亚波长二元衍射光栅的波长分离器

摘要

本发明公开了一种基于亚波长二元衍射光栅的波长分离器的实现方法，该波长分离器由三个亚波长二元衍射光栅和一块纯石英玻璃片组合实现：一个结构为凹字型，材料为SIyNx的亚波长二元透射光栅被制作在一个纯石英片的下端面，另两个结构为弓字型，材料为金或银的亚波长二元反射光栅被制作在一个纯石英片的上端面，并且等距离的分别位于亚波长二元透射光栅的左右两侧，与其形成一个倒三角型。本发明所需的亚波长二元衍射光栅器件具有制作工艺简单成熟，制作成本低廉的优点，而且整个波长分离的原理和过程都十分简单易行，可以立即得到实际的应用，产生经济效益。

主权项

一种基于亚波长二元衍射光栅的波长分离器，其特征在于，包括结构为凹字型、材料为SIyNx的亚波长二元透射光栅(1)，结构均为弓字型、材料均为金或银的第一亚波长二元反射光栅(3)和第二亚波长二元反射光栅(4)以及纯石英片(2)；所述亚波长二元透射光栅(1)通过折射率匹配液粘附在所述纯石英片(2)的下端面；所述第一亚波长二元反射光栅(3)和第二亚波长二元反射光栅(4)通过折射率匹配液粘附在所述纯石英片(2)的上端面；并且等距离的分别位于亚波长二元透射光栅(1)的左右两侧；所述亚波长二元透射光栅(1)的折射率随x、y取值的不同在1.8‑2.2之间变化；所述第一亚波长二元反射光栅(3)和第二亚波长二元反射光栅(4)，若其材料为金，则折射率为0.22‑6.12i；若其材料为银，则折射率为0.2545‑6.57i；所述亚波长二元透射光栅(1)、第一亚波长二元反射光栅(3)和第二亚波长二元反射光栅(4)的周期均略小于或等于入射光波长；所述纯石英片(2)的长度大于或等于所述亚波长二元透射光栅(1)、第一亚波长二元反射光栅(3)和第二亚波长二元反射光栅(4)的长度之和，纯石英片(2)的厚度大于或等于1cm。