发明名称 一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒
摘要 本实用新型公开了一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒,涉及专门适用于特殊物件或物料的容器、包装元件或包装件技术领域。包括盒体和盒盖,所述盒体上设有舱室平台,舱室平台为一个平滑的圆形平台,平台的直径大于薄晶圆片的直径,沿舱室平台外周的部分弧将盒体分为高低两部分,在盒体低的部分设有取放口,取放口为一条设置在舱室平台外侧的弧形凹槽,所述凹槽紧挨着舱室平台,取放口的高度大于舱室平台的高度,所述盒盖也分为高低两部分,盒盖低的部分与盒体高的部分相适配,盒盖高的部分与盒体低的部分相适配。使用所述存储盒转运薄晶圆片,能够有效保证薄晶圆片的安全且取放薄晶圆片方便。
申请公布号 CN203288569U 申请公布日期 2013.11.13
申请号 CN201320308476.2 申请日期 2013.05.31
申请人 中国电子科技集团公司第十三研究所 发明人 彭志农;潘宏菽;付兴昌
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人 陆林生
主权项 一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒,其特征在于包括盒体(1)和盒盖(2),所述盒体(1)上设有舱室平台,舱室平台为一个平滑的圆形平台,平台的直径大于薄晶圆片的直径,沿舱室平台(3)外周的部分弧将盒体分为高低两部分,在盒体低的部分设有取放口(4),取放口(4)为一条设置在舱室平台外侧的弧形凹槽,所述凹槽紧挨着舱室平台(3),取放口(4)的高度大于舱室平台(3)的高度,所述盒盖(2)也分为高低两部分,盒盖(2)低的部分与盒体(1)高的部分相适配,盒盖(2)高的部分与盒体(1)低的部分相适配。
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