发明名称 |
一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒,涉及专门适用于特殊物件或物料的容器、包装元件或包装件技术领域。包括盒体和盒盖,所述盒体上设有舱室平台,舱室平台为一个平滑的圆形平台,平台的直径大于薄晶圆片的直径,沿舱室平台外周的部分弧将盒体分为高低两部分,在盒体低的部分设有取放口,取放口为一条设置在舱室平台外侧的弧形凹槽,所述凹槽紧挨着舱室平台,取放口的高度大于舱室平台的高度,所述盒盖也分为高低两部分,盒盖低的部分与盒体高的部分相适配,盒盖高的部分与盒体低的部分相适配。使用所述存储盒转运薄晶圆片,能够有效保证薄晶圆片的安全且取放薄晶圆片方便。 |
申请公布号 |
CN203288569U |
申请公布日期 |
2013.11.13 |
申请号 |
CN201320308476.2 |
申请日期 |
2013.05.31 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第十三研究所 |
发明人 |
彭志农;潘宏菽;付兴昌 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
石家庄国为知识产权事务所 13120 |
代理人 |
陆林生 |
主权项 |
一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒,其特征在于包括盒体(1)和盒盖(2),所述盒体(1)上设有舱室平台,舱室平台为一个平滑的圆形平台,平台的直径大于薄晶圆片的直径,沿舱室平台(3)外周的部分弧将盒体分为高低两部分,在盒体低的部分设有取放口(4),取放口(4)为一条设置在舱室平台外侧的弧形凹槽,所述凹槽紧挨着舱室平台(3),取放口(4)的高度大于舱室平台(3)的高度,所述盒盖(2)也分为高低两部分,盒盖(2)低的部分与盒体(1)高的部分相适配,盒盖(2)高的部分与盒体(1)低的部分相适配。 |
地址 |
050051 河北省石家庄市合作路113号 |