| 摘要 |
本发明提供两种用以延长电浆室材料用之钇氧化物之使用期间的方法。一种方法包含藉由共同烧结一具有包含陶瓷粒子的一层及包含氧化钇粒子的第二层之双层生坏来制造一电浆处理腔室的三层元件。在烧结过程中该两层紧密接触。在一较佳实施例中，该三层元件包含一氧化钇外层、一YAG中间层及一氧化铝第二外层。可选择地，该等层在烧结过程中可按压在一起。所成之三层元件的孔隙度非常低。更佳的是，氧化钇外层、YAG中间层及氧化铝第二外层之任一者的孔隙度小于3%。第二种方法包含：藉由涂刷一黏度在室温下为少于50cP的液态厌氧型密封胶于一氧化钇电浆喷涂元件的所有氧化钇表面上，对该元件施加该密封胶以密封该元件，湿式清洗该元件，在一N2环境中以一至少为150℃的温度硬化该已经湿式清洗之元件超过2小时；及藉由重复施加第一层涂层用的步骤施加第二层密封胶涂层于已硬化的基板上。 |
