一种包含下层矽树脂膜与上层矽树脂膜之基板

摘要

本发明提供一种，至少依顺序在有机膜之上形成防反射用矽树脂膜，于其上形成光阻膜之基板；防反射用矽树脂膜，兼备优越之光阻可混性与有机膜蚀刻时之高蚀刻耐性的双方，因此能形成更高精确度之图型的基板。;一种基板，其系至少依顺序在有机膜之上形成防反射用矽树脂膜，于其上形成光阻膜之基板；其特征为该防反射用矽树脂膜，包含下层矽树脂膜、与矽含量比该下层矽树脂膜少之上层矽树脂膜。