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发明名称
保护在用于一电浆处理系统中之一基材支承内的结合层之方法
摘要
本发明提供一种保护适用于一电浆处理系统中之一基材支承内的结合层之方法。该方法包括以下步骤:以一结合材料将一基材支承之一上部件附接至一基材支承之一下部件。将一黏合剂施用至该上部件之一外部周边及该下部件之一上部周边,且一保护环系环绕定位于该上部件之该外部周边及该下部件之该上部周边。该保护环最初制造为提供机械稳定性及可加工性之尺寸。接着将该保护环加工为与该基材支承应用之设计相符之一组精确的最终尺寸。
申请公布号
TWI415165
申请公布日期
2013.11.11
申请号
TW095126444
申请日期
2006.07.19
申请人
蓝姆研究公司 美国
发明人
安东尼 瑞西;吉姆 泰潘;凯斯 可曼丹特
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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