电浆蚀刻用石英玻璃构件

摘要

提供一种电浆蚀刻用掺杂石英玻璃构件，于电浆蚀刻步骤中被使用之掺杂石英玻璃，在使用中，不会产生氟化物之堆积问题。;一种电浆蚀刻用石英玻璃构件，系为一种半导体制造用工具于电浆蚀刻步骤中所使用之电浆蚀刻用石英玻璃构件，其特征为至少该石英玻璃构件系含有2种类以上之金属元素合计为0.01wt%以上但不满0.1wt%，且该金属元素系由至少一种选自周期表第IIIB族之第1金属元素和为至少一种选自Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、镧系元素及锕系元素所成群之第2金属元素所构成。