发明名称 液晶显示装置用玻璃基板之制造方法
摘要 提供一种液晶显示装置用玻璃基板之制造方法,相较于以往可大幅地减低在藉由喷出气流除去洗涤剂等液体之后产生水渍(watermark)的频度。;在洗净步骤,对玻璃基板3之表面吹送洗涤剂等液体以进行洗净。然后,在除去步骤,对玻璃基板3之表面从空气喷出装置1之喷嘴组装体10的狭缝10g供给延伸较长之喷出气流,以除去洗涤剂等液体。此从狭缝10g所喷射之喷出气流的风速,系使用风速测量装置40与风速测量治具30,于延伸之方向调整成均匀。
申请公布号 TWI415176 申请公布日期 2013.11.11
申请号 TW100122993 申请日期 2011.06.29
申请人 安瀚视特股份有限公司 台南市安南区工业三路8号;安瀚视特股份有限公司 日本 发明人 王文凯;邱文篮;朱家贤;高荣志;邱晋亿
分类号 H01L21/30;B08B3/02;B08B7/04;G02F1/133 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 日本