光学镀膜装置

摘要

一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、待镀元件承载架及镀膜源，该待镀元件承载架及镀膜源设置于该真空镀膜室内。该光学镀膜装置还包括一镀膜挡板，该镀膜挡板设置于该待镀元件承载架与该镀膜源之间。该镀膜挡板包括一第一挡板及一第二挡板，该第一挡板可将该真空镀膜室分隔成两个空间，该第一挡板具有一通孔，该通孔对应该待镀元件承载架与镀膜源设置，以使该镀膜源产生之镀膜材料气体通过该通孔到达置于待镀元件承载架之待镀元件上，该第二挡板可相对该第一挡板移动并分别遮挡或暴露该通孔。