| 摘要 |
本发明提供一种用于量测一辐射光束之一相位分布及/或一投影系统之一光瞳分布的辐射分布量测系统，该辐射分布量测系统包括一透明载体板、组态于该透明载体板之一第一侧处之一格栅及/或一针孔及一在该透明载体板之一相反侧处之摄像机。该量测系统亦包括一在该透明载体板与该摄像机之间的辐射滤光镜，该辐射滤光镜具有一在该滤光镜之中心处最低且朝向该滤光镜之外部逐渐并同心地增加的透射率。藉由置放具有其特定透射率之该滤光镜，补偿了跨越波前感测器10之强度差(亦即，强度梯度)。使入射于该摄像机上之光之强度更均一，从而造成该量测系统之一改良效能。 |
