射频溅镀配置

摘要

一种射频溅镀装置，此装置包含真空腔室、至少一第一电极、对应电极及射频产生器。第一电极具有第一表面，其配置于真空腔室内，对应电极具有表面，其配置于真空腔室内，射频产生器系用以施加RF电场，其穿过第一电极与对应电极，以开始产生电浆于第一电极与对应电极之间。其中，对应电极包含至少二凹部，其互通于真空腔室，每一凹部的尺寸系允许电浆形成于凹部中。