液晶曝光装置

摘要

[课题]本发明系针对液晶曝光装置提供一种易于达到平台组装时的定位之构造。;[解决手段]本发明系针对具有：搭载工件之工作台；具有该工作台的移动机构之可动平台；具有该可动平台的移动机构之固定平台；及支撑对前述工作台的工件曝光遮罩图案的曝光装置之支架部的液晶曝光装置，固定前述支架部的固定平台系在与前述可动平台移动方向为直角的方向具有可分割复数个的构造。