| 摘要 |
本发明提出一种垂直悬臂式电镀夹具。固定架(102)可由输送工具运送至不同之槽，并垂直悬挂于电镀槽进行电镀作业。马达(104)及传动装置使晶圆(114)旋转而具搅拌功能，降低阴极物件表面所形成之电双层效应影响，以增加电镀沉积之均匀度，并使阴极物件因电镀所产生之气泡能藉由阴极旋转与镀液接触磨擦而去除。晶圆固定模组(109)以晶圆座(118)放置晶圆，晶圆导柱(119)导引晶圆，上盖导柱(120)导引上盖盘模组(116)，扣爪模组(110)之扣爪(112)机械式同步以均匀之力量上锁上盖盘模组。每一扣爪电连接至电导通测量装置，以量测晶圆上之各导通点之导通度。 |
